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Parameters and Range of Performance
ファクトリ従業員コンポーネントは製造オペレーションに関わる，資格を持ち，手の空いた人的資源の資格認定および管理をサポートする性能を提供する。
orgで，そして2006年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1992年発行，前版は2000年10月発行。
SEMI E171-0914 (first published)
およびSEMI E142
E13400 - SEMI E134 - データ収集管理の仕様 Revision:SEMI E134-0709 - Superseded Parameters and Range of Performanceglobal Information & Control Committee2010430global Audits and Reviews Subcommittee20106www. semi. org2004720103 Subordinate Document: SEMI E134. 1 0710 DCMSOAP Referenced SEMI Standards SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM) SEMI E40 Standard for Processing Management SEMI E94 Specification for Control Job Management SEMI E120. 1 XML Schema for the Common Equipment Model SEMI E121 Guide for Style &
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